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晶圆烘烤工艺定制化烤箱

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产品描述

参数

适用于8“和12” 金属提篮

For 8 "and 12" metal baskets
每个腔独立工作，运行单独的程序

Each chamber works independently and runs a separate program
支持恒温模式或者升降温模式

Support constant temperature mode or rising and falling temperature mode
内腔高洁净度，低氧环境

Lumen, high cleanliness, hypoxic environment
支持EAP联机功能

Support EAP online function

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