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产品描述
参数
晶圆和框架类产品烘箱;
Product Description: oven for wafer and frame products;
提供不同尺寸内腔,双腔/四腔/六腔类型设备;
Provide different sizes of cavity, double cavity / four cavity / six cavity type equipment;
根据客户工艺需求,可选内腔水冷配置;
According to the process requirements of customers, the inner cavity water cooling configuration can be selected;
支持SECS/GEM自动联机需求;
Support SECS/GEM automatic online requirements;
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无氧烤箱
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高端烤箱控制系统优特点说明
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