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全自动/半自动UV照射机

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产品编号
所属分类
自动UV照射机
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产品描述
参数

适用于8”&12” 载环/操作简便。

For 8 "& 12" load ring / easy to operate.

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晶圆尺寸  :  8 & 12” Wafer或Frame;

Crystal Size: 8 & 12 " Wafer or Frame;

UV 单元  : 1套 LED UV 模组;

UV unit: 1 set of LED UV module;

UV 波长  : 365 nm;

UV wavelength: 365 nm;

UV 照射能量 : 50~500 mw/ cm2 ,能量可程序调节;

UV irradiation energy: 50~500 mw/ cm2, energy programmable adjustment;

UV 照射均匀性 : <= ± 10 % ;

UV irradiation uniformity: <= ± 10%;

UV 照射时间 :  0~999sec, 程序可设定;

UV irradiation time: 0~999sec, program can be set;

扫描速度 : 0~100 mm / s, 程序可设定;

Scan speed: 0~100 mm / s, program can be set;

灯箱温度 : 实时监控灯头温度;

Light box temperature: real-time monitoring of the lamp head temperature;

UV 灯类型 : LED型冷光源,能量强,寿命长,能耗低, 发热量小;

UV lamp type: LED type cold light source, strong energy, long life, low energy consumption, low heat supply;

控制单元 : PLC控制器,配大尺寸触摸屏;

Control unit: PLC controller, equipped with large size touch screen;

上料/下料 : 手动方式上料/下料;

Feed / unloading: manual feeding / unloading;

晶圆良率(残胶):>=99.99%;

Crystal yield (residual glue):> =99.99%;

更换产品时间:   <=3分钟;

Product replacement time:    <= for 3 minutes;

LED 灯头寿命:18个月以上;

LED lamp head life: more than 18 months;

UPH: 55- 60片晶圆

UPH: 55-60 sheet wafer

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