晶圆尺寸 : 8 & 12” Wafer或Frame；
Crystal Size: 8 & 12 " Wafer or Frame;
UV 单元 ： 1套 LED UV 模组；
UV unit: 1 set of LED UV module;
UV 波长 ： 365 nm；
UV wavelength: 365 nm;
UV 照射能量 ： 50～500 mw/ cm2 ，能量可程序调节；
UV irradiation energy: 50~500 mw/ cm2, energy programmable adjustment;
UV 照射均匀性 ： <= ± 10 % ；
UV irradiation uniformity: <= ± 10%;
UV 照射时间 : 0~999sec, 程序可设定；
UV irradiation time: 0~999sec, program can be set;
扫描速度 ： 0~100 mm / s, 程序可设定；
Scan speed: 0~100 mm / s, program can be set;
灯箱温度 ： 实时监控灯头温度；
Light box temperature: real-time monitoring of the lamp head temperature;
UV 灯类型 ： LED型冷光源，能量强，寿命长，能耗低， 发热量小；
UV lamp type: LED type cold light source, strong energy, long life, low energy consumption, low heat supply;
控制单元 ： PLC控制器，配大尺寸触摸屏；
Control unit: PLC controller, equipped with large size touch screen;
上料/下料 ： 手动方式上料/下料；
Feed / unloading: manual feeding / unloading;
晶圆良率（残胶）：>=99.99%；
Crystal yield (residual glue):> =99.99%;
更换产品时间: <=3分钟；
Product replacement time: <= for 3 minutes;
LED 灯头寿命：18个月以上；
LED lamp head life: more than 18 months;
UPH: 55- 60片晶圆
UPH: 55-60 sheet wafer
