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产品描述
参数
Ø 高洁净度烘箱；
Product Description: High cleanliness oven;
Ø 提供不同尺寸内腔，双腔/四腔/六腔类型设备；
Provide different sizes of cavity, double cavity / four cavity / six cavity type equipment;
Ø 根据客户工艺需求，可选带HEPA配置，与无HEPA配置；
According to the process requirements of customers, it can be configured with or without HEPA;
Ø 支持SECS/GEM自动联机需求；
Support SECS/GEM automatic online requirements；
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无氧烤箱
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