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全自动载环晶圆传片机

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产品编号
所属分类
全自动晶圆传片机
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产品描述
参数

Ø  三工位设计

Three-station design

Ø  高UPH

High in UPH

Ø  产品切换方便

Easy switching is convenient

Ø  支持SECS/GEM自动联机需求

Support for SECS/GEM automatic online requirements

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Ø  承载环尺寸:8寸和12寸

Bearing ring size: 8 inches and 12 inches

Ø  三个上料工位；

Three loading work stations;

Ø  控制系统：工控机系统；

Control system: industrial control machine system;

Ø  ESD Fan；

Ø  FFU过滤器；

FFU filter;

Ø  UPS电源；

UPS power supply;

Ø  SECS/GEM 联机

The SECS/GEM is brought online

Ø  每小时产能：≥100 片晶圆；

hourly capacity: ≥ 100 wafers;

Ø  机器指示：三色灯塔显示机台工作状态

Machine indication: three-color lighthouse display console operating status

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