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产品描述
参数
晶圆级PI胶工艺烘箱
Product Description: wafer level PI glue process oven
内部净化等级可达Class100
The internal purification level can reach class100
内腔无氧设计,满足20PPM以下的氧浓度需求
The oxygen free design of the inner cavity can meet the oxygen concentration requirements below 20ppm
支持SECS/GEM自动联机需求
Support SECS/GEM automatic online requirements
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无尘烤箱
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