高温无尘无氧烤箱HCM-100系列

Ø  内腔无尘等级： Class 100 （可配置HEPA);

Ø  氧含量控制： <20ppm (动态监控);

Ø  温度范围: +60~ +500°C；

Ø  温度均匀度:±1.5% (空载) ;

Ø  升温速率：常温~+400°C，> 6°C/min;

Ø  降温速率：夹层降温装置，平均速率 5℃/min以内，

                        降温斜率可程序设定，90分钟内可从375℃降温到80℃;

Ø  温度过冲控制： <2℃@200℃，<3℃@300℃；

Ø  温控精度： ±0.1°C (空载);

Ø  单工作腔尺寸： W966×H715×D588 mm                              

                                W630×D700×H710 mm      

Ø  外形尺寸： W1910 mm×H1930 mm×D1037 mm;

Ø  烘箱搁板为活动式，共两片, 搁板承重≥30kg;

Ø  加热功率： 18KW; 支持SECS/GEM & MES 联机

Ø  设备认证：SEMI S2

备注：1. 能提供小尺寸内腔烘箱。