真空烤箱

Ø  内腔无尘等级： Class 10~100

Ø  氧含量控制速率：<20ppm （动态监控）

Ø  系统真空度：<133Pa

Ø  干泵抽速：10min 达到要求的真空度，带泄漏率监测

Ø  温度范围： +60~ +620°C

Ø  工艺温度范围：+60~ +600°C

Ø  温度均匀度： ±1.5% (空载)；

Ø  升温速率：常温～+600°C，升温速率 0～8°C/min以内

Ø  温控精度： ±0.1°C

Ø  烘箱搁板为活动式，共两片,搁板承重≥30kg

Ø  工作腔体尺寸:W450mm×H350mm×D620mm x 1 chamber

Ø  外形尺寸:W1310mm×H1765.1mm×D1200mm

Ø  加热功率: 16Kw。

Ø  支持SECS/GEM & MES 联机

Ø  设备认证：SEMI S2

备注：可提供不同尺寸内腔烘箱。