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备件专用烤箱

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产品编号
所属分类
烘箱设备和自动化联机方案
数量
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+
库存:
0
1
产品描述
参数

Ø  高洁净度烘箱；

Product Description: High cleanliness oven;

Ø  提供不同尺寸内腔

Provide different sizes of cavity

Ø  根据客户工艺需求，可选带HEPA配置，与无HEPA配置；

According to the process requirements of customers, it can be configured with or without HEPA;

Ø  适用于PVD Parts或石英罩/舟除水汽

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Ø  内腔无尘等级: Class 100;

Ø  温度范围: +60~ 200°C;

Ø  温度均匀度： ±1.5%; (空载)

Ø 升温速率： ≥3°/min

Ø  控温精度： <1°C

Ø  可恒温使用，带计时器

Ø  定时功能:0-999 分钟可设置，设定时间到则自动切断加热电源

内腔尺寸可以根据客户需求定制化

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无
下一个
真空烤箱

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