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ROBOT

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产品描述
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       ROBOT半导体机器人是用于半导体制造环节的自动化设备，负责搬运、加工、检测晶圆或芯片。 这类机器人在无尘环境中工作，具备高精度、高洁净度、高稳定性的特点，是芯片工厂的核心装备之一。 半导体机器人由机械臂、控制系统、传感器、末端执行器、驱动装置五个模块构成。

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