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ALIGNER

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产品描述
参数

       Aligner是一种用于半导体制造过程中对晶圆进行寻边并对接的设备。 其工作原理主要是利用光学技术来对晶圆进行边缘定位。 Aligner晶圆寻边器系统主要是由光源、光电传感器、显微镜、控制平台等组成。

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