FORK

      晶圆FORK又称牙叉、晶圆拾取器等，具有高洁净度、高平面度和重量轻等特点，一般由氧化铝陶瓷、不锈钢、铝合金等材质构成。

      产品执行原理涵盖了真空吸附、伯努利吸附、机械夹持、范德华力等多种方式。在实际应用中微法尔团队可以对以上几种原理进行设计整合，对于大翘曲、非接触、微接触等要求可提供订制解决方案。