LOADPORT

      Loadport是指用于半导体制造设备的装载口，它是半导体生产中非常重要的一个环节。 Loadport标准就是针对Loadport的设计、制造、安装和使用等方面的标准规范。 遵循Loadport标准可以保证半导体生产设备的稳定性、可靠性和安全性，从而确保半导体产品的质量和生产效率。